반도체 미세공정 핵심 장비 ‘펠리클’… 삼성, 中企와 손잡고 기술 확보 - 조선비즈 - 조선비즈 구글뉴스 0 104 2022.12.29 06:00 https://news.google.com/__i/rss/rd/articles/CBMiTGh0dHBzOi8vYml6LmNob3… + 15 https://news.google.com/_/rss?pz=1&cf=all&topic=p&hl=ko&gl=KR&ceid=KR:… + 15 반도체 미세공정 핵심 장비 ‘펠리클’… 삼성, 中企와 손잡고 기술 확보 - 조선비즈 조선비즈