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인테그리스, 반도체 산업에 반드시 필요한 혁신적 CDS 솔루션 출시

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반도체 업계와 하이테크 업계에 첨단 소재 및 공정 솔루션을 공급하는 글로벌 선도기업 인테그리스(Entegris, Inc.)가 최첨단 반도체 제조에 반드시 필요한 CDS(chemical delivery system, 화학약품을 적재적소에 알맞은 양으로 공급하는 장비)에서 정전하를 제거한 새로운 유체 관리 시스템을 출시했다고 발표했다. 반도체 제조에 필요한 용액 및 기타 가연성 화학물질을 전달하는 전통...

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