Advanced Energy, 초광폭 온도 범위의 고정확 다중 채널 감지 플랫폼 발표
뉴스와이어신상품
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2023.07.13 16:35
첨단 기술로 제조된 정밀 전력 변환, 측정 및 제어 솔루션의 글로벌 리더인 Advanced Energy Industries, Inc.(나스닥: AEIS)는 초저온에서 초고온까지 고정확 감지를 제공하는 고도로 통합된 컨버터 플랫폼을 갖춘 Luxtron® FluorOptic® Thermometry(FOT) 제품군을 확장했다.
플라마 반도체 증착 및 식각 제조 공정에 적합한 새로운 Luxtron M-1100은 극저온 범위의 시작점인 -200°C에서 450°C의 ‘hot chuck...
