기가포톤, 신형 ArF 드라이 리소그래피용 광원 ‘GT45A’ 8월 출하
뉴스와이어신상품
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2019.09.18 10:16
반도체 리소그래피 광원 제조업체인 기가포톤 주식회사(본사: 토치기현 오야마시, 대표이사 사장: 우라나카 카츠미)가 신형 ArF 드라이 리소그래피용 광원 GT45A를 8월에 출하했다고 발표했다.
최첨단 반도체 제조 프로세스에서는 테크놀로지 노드 10/7nm(나노미터)라는 미세한 프로세스가 주류가 되어 앞으로도 EUV 광원 도입에 의한 7nm 이하의 진일보한 미세화가 주목받고 있다. ...
