지올(JEOL Ltd.)(도쿄증권거래소: 6951)(사장 겸 COO, 오이 이즈미, Izumi Oi)이 쇼트키 전계 방출 전자 현미경(Schottky Field Emission Electron Microscope) JSM-IT800(2020년 5월 출시)의 반도체 소자 관찰에 최적화된 세미-인-렌즈 버전(i)/(is)을 개발했다고 발표했다.
개발 배경
주사 전자 현미경(SEM)은 나노기술, 금속, 반도체, 세라믹, 의학, 생물학 등 다양한 분야에 사용된다. 연구개발뿐만 아니라...