Fractilia, EUV 패터닝 제어 및 수율 향상 위해 스토캐스틱 HVM 제어 솔루션에 OPC 분석 추가

첨단 반도체 제조를 위한 스토캐스틱(stochastic) 기반 분석과 제어 솔루션의 선두 주자인 프랙틸리아(Fractilia)가 ‘FAME™ OPC’라는 신제품을 출시한다고 밝혔다. Fractilia의 FAME OPC는 첨단 패터닝 공정에 사용되는 필수 기법인 광 근접 보정(OPC, optical proximity correction) 모델링 향상에 결정적인 OPC 측정 및 분석 기능들을 제공한다. FAME OPC는 모든 주사전자현미경(SEM, scanning electron micros...