기가포톤, 최신 모델 KrF 광원 ‘G60K’ 출하

반도체 리소그래피용 광원 제조업체인 기가포톤 주식회사(본사: 토치기현 오야마시, 대표이사 사장: 우라나카 카츠미)가 신형 KrF용 광원 ‘G60K’를 10월 29일에 출하했다고 발표했습니다. 신형 KrF용 광원 ‘G60K’는 약 15년 만에 풀 모델 체인지와 함께 신형 전원 유닛을 도입하여 기존 대비 1.5배인 60W 출력이 가능해졌습니다. 또한 바디는 확장성을 두루 갖춘 신형 플랫폼을 채...