프랙틸리아, 반도체 EUV 팹 수율 관리 문제를 위한 새로운 스토캐스틱 솔루션 발표

첨단 반도체 제조에 사용되는 스토캐스틱스(stochastics) 측정·제어 솔루션 분야 선도 기업인 프랙틸리아(Fractilia)가 반도체 팹에 수십억 달러 규모의 손해를 일으키는 EUV 수율 문제를 관리할 수 있게 하는 FAME™ (Fractilia Automated Measurement Environment) 제품의 최신 버전을 출시한다고 밝혔다. FAME 제품 라인은 첨단 노드에서 패터닝 오류를 일으키는 주된 요인인 스토캐스틱스를 고도...