[산업통상자원부]첨단 반도체 장비(EUV) 도입 규제 등 반도체 초강대국 달성을 위한 가스안전분야 규제 혁신(11건)

□ 산업통상자원부(장관 이창양, 이하 산업부)는 반도체 초강대국 달성을 위해 반도체산업에 사용되는 고압가스에 대한 안전혁신과제(11건)를 선정하고 전문가 검토 등을 거쳐 합리적으로 개선하여 기업부담을 완화할 계획이다.

ㅇ 산업부는 그동안 반도체 산업을 지원하고, 반도체 제조 용도의 수입 산업가스* 수급안정을 위하여‘검사생략 고압용기의 해외 반송기한’을 6개월에서 최대 2년으로 연장하는 등 지속적으로 규제를 발굴․개선해 왔다.

* 디플루오로메탄(CH2F2, 반도체 식각용), 삼불화붕소(BF3, 반도체 도핑용) 가스 등

ㅇ 특히, 이번에 선정된 11개 규제는 규제 개선시 국내 반도체산업의 글로벌 경쟁력을 한층 더 높일 수 있는 과제로, 반도체관련 단체 및 기업과의 간담회․현장방문 등을 통하여 도출하였다.

□ (그간 경위) 산업부는 금년 6월부터 반도체기업 및 유관협회에 대한 의견수렴과 간담회* 등을 통해 반도체 제조공정에 쓰이는 수소를 포함한 고압가스의 안전규제에 대하여 다양한 개선과제를 발굴하였으며,

* 반도체 협회 및 반도체기업(삼성 등) 간담회(7.20), 현장방문 등 추진

ㅇ 이 중, 안전성이 확보되면서도 기업 활동을 촉진할 수 있는 고압가스 관련 반도체 생산장비 및 저장설비 등에 대한 7개* 과제를 전문가 검토 등을 거쳐 신속히 개선해 나갈 계획이다.

* 반도체 생산장비 분야 3건, 저장 등 시설분야 4건 등 총7건 (붙임1 참조)

ㅇ 아울러, 나머지 4개 과제에 대해서도 관련단체․업계와 간담회, 현장방문 및 전문가 검토 등을 통하여 안전성을 확인하고 타 법령과의 연계 가능성 등을 고려하여 개선방안을 모색할 예정이다.

□ (주요 규제) 주요 규제 및 개선 기대효과는 ①차세대 EUV 장비*의 국내도입시 걸림돌을 제거하여 첨단제조설비를 선점함으로써 글로벌 경쟁력을 확보하고, ②방호벽 설치기준 등을 완화하는 등 반도체 공장의 증설을 용이하도록 함으로써 반도체공장內 부지의 활용도를 제고하도록 하는 것이다.

* (EUV장비, Extreme Ultra Violet : 극자외선 파장) 네덜란드 ASML社가 생산하는 장비로 극자외선을 이용하여 반도체 회로를 그려주는 노광장비로, 차세대 EUV장비는 고압가스배관 재질을 슈퍼듀플렉스 소재를 사용하여 장비 효율을 높임

ㅇ 금번에 신속하게 개선할 예정인 고압가스안전 분야의 주요 규제혁신과제 내용은 다음과 같다.

？ 차세대 EUV장비 국내도입 허용기준 개선

- (현행) 신소재재질의 배관(슈퍼듀플렉스강*)을 사용한 차세대 EUV장비가 개발완료 예정이나, 신소재 배관에 대한 고압가스법령內 사용규정이 없어 국내 도입이 불가한 상황으로,

* 스테인레스강 보다 내부식성, 저항성 등이 보완된 이중구조로된 신소재 배관

？ (개선) 차세대 첨단장비 선점을 위하여 슈퍼듀플렉스강 등 미국기계학회(ASME)에서 인정받은 재료의 배관도 고압가스 배관사용이 가능하도록 안전성을 검토 후, 가스상세기준을 개정하여 국내도입이 가능하도록 할 예정이다.

② 방호벽* 관련 다양한 설치기준 허용

* 고압가스 폭발시 인근에 보호시설(주택 및 학교 등) 및 인명 보호를 위한 방호벽

- (현행) 반도체공장은 바닥면이 얇은 경량화된 복층건물구조로, 깊이 묻어야 하는 기존 ①방호벽 지주의 고정방법*으로는 지주설치가 곤란하고, ②방호벽도 두꺼운 콘크리트재질만 설치가능하여 공장 증설에 어려움이 있어,

* 기존 기초에 400mm 이상의 깊이로 묻거나, 20mm(앵커지름) 이상의 앵커볼트 사용

？ (개선) 가스상세기준에서 구조기술사 등이 안전성을 확인한 경우에는, 케미컬앵커* 등 ①다양한 지주설치방법을 허용하고, ②방호벽도 기존 방호벽의 재질과 동등한 안전수준이면 강판제 등 다양한 재질의 방호벽을 허용하도록 기준을 마련하여 반도체 공장의 공간 활용을 증대시킬 예정이다.

* 접착제 성분의 화학적 물질로 방호벽과 방호벽의 지주를 고정하는 방법

③ 공장내부의 용기보관(저장용 실린더캐비닛*) 기준 개선

* 가스용기를 보관할 목적으로 배기 등 안전장치가 설치된 강판제의 용기 보관함

- (현행) 저장용 실린더캐비닛은 공장내부에 설치 시 설치장소의 지붕을 가벼운 불연재료로만 사용해야 하므로 복층으로 공장증설時 가벼운 지붕은 상층의 바닥이 되어 하중을 견디기 어려워 동 캐비닛을 공장에 설치하기 곤란하여,

？ (개선) 전문가 검토 등을 거쳐 저장용 실린더 캐비닛에 대한 안전성을 검증 후 지붕을 가벼운 불연재료로 사용하도록 하는 의무 규정을 면제하는 기준을 마련하여 반도체공장의 복층 증설을 용이하도록 할 예정이다.

□ 박일준 2차관은“반도체 초강대국 달성을 촉진하고 지원하는 기폭제가 될 수 있도록 금번 선정된 혁신규제과제를 신속히 추진하겠다”고 강조하고,

ㅇ “앞으로도 반도체산업 뿐만 아니라 에너지분야 안전과 관련된 타 산업에서도 안전 확보와 산업 발전의 균형을 도모하는 규제혁신과제를 지속적으로 발굴하여 기업경쟁력이 강화되도록 지원해 나가겠다”고 밝혔다.