아즈빌, MEMS 가공 기술로 증착 대책 강화한 사파이어 격막진공계 출시

아즈빌(Azbil Corporation)(도쿄:6845)은 1월 25일부터 MEMS*1 가공 기술로 증착(deposition)*2을 개선하는 사파이어 격막진공계 Model V8을 출시한다고 발표했다. 반도체 제조 기술이 발전하며 전 공정 중 성막, 에칭에 사용되는 가스의 종류도 증가하고 있다. 공정 가스에 따라 사용 중인 진공계의 센서 다이어프램 위에 막이 형성되어 제로점 이동이 발생할 수 있다. 이런 현상은 진공계의 ...